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可想而知,这样的探针必然是非常脆弱。像半导
所这样主要观测
质材料,大多数时候使用的都是非接
模式,即使如此还经常会因为碰到材料突起导致探针损坏。只有观测生
材料等
质材料的时候,才会使用接
扫描。
当针
与被扫描
接
,就会有多
力在这个过程中产生影响。通过对这些数据的计算,就能得到扫描的图像了。
当找到这个思路之后,他的脑海里迅速将这条路径需要解决的问题大致的列了一遍。问题不少、而且不,但是,肯定有实现的可能!
正常使用中如果有谁敢把探针
程设置为负数,那他这辈
都别想
实验室的大门了。
“主任,你想怎么用原
力显微镜?那个咱们所一共也没几台,所长宝贝着呢!”
谁都知
碳化硅、氮化镓这些材料比硅晶圆的
能更好,但半导
产业还不是在吃单晶硅这条路线,还不知
要吃到哪一年去呢。
想到这里,王中军不仅没有着急,反而是松了一
气。
正常的科研计划,当然是要考虑经济效益的,需要循序渐
来逐渐将一项技术发展成熟,然后再
行下一代技术的研发。
但问题是,如今摆在王中军面前的并不是一个正常的研发项目。
“不对,Ibm前几年就用原
力显微镜
作过单个原
,所以这个路线应该是可行的。”
微纳米级的纳米光栅,不仅时间
、任务重,而且还关系到国家战略。就是在这个时候,我们才有一个优势,可以不去讲所谓的经济规律,去拼尽全力的
一件事。
王中军若有所思,沉
着
:“不过,这确实是一条路
。”
还不到这一步。”
“探针?一个探针大概是两百
元,如果我们用
探针,那确实太贵了。”
就像刘慈欣在《朝闻
》里的那样,相比于人类意识到宇宙存在所用的时间,人类从
顿到诞生
因斯坦不过是一瞬间而已。
“可是……”
下面有人情不自禁的摇
:“这样一来,那探针也废了吧?”
原
力显微镜的原理并不复杂,就是用一
针
去“摸”
一幅图像来。针
可以和
作对象接
、不接
或者接
之后迅速离开——也就是轻敲模式。
成本,并不应该在王中军这个项目的考虑之郑
而且国内对原
力显微镜的应用还
于摸索阶段,属于那
拿它随便扫描一片树叶,都能到期刊上发一篇论文。
王中军的自言自语,让所有人都有些目瞪
呆。
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“我们必须推翻目前的技术路径,蚀刻法的加工
度是无法满足需求的。我们必须要有更
的加工能力,必须
目前的半导
加工思路……”
“更
加工能力……原
力显微镜怎么样?”
“但这个设想的难
不在成本,而是
钱也没有现成的探针可以用。为了在单晶硅上刻画光栅,我们需要硅探针,这样在刻痕的过程中才不至于污染材料。同样我们也需要分辨率更
、更容易被去除杂质的针
,硅材料很难
到我们需要的分辨率
度,此外还需要新的刻蚀方法……”
不把单晶硅的潜力挖光、不在经济上无利可图,产业界怎么有动力去更新换代?
“如果那个原始人对宇宙的几分钟凝视是看到了一颗宝石,其后你们所谓的整个人类文明,不过是弯腰去拾它罢了。”
原
力显微镜在九十年代的中国确实是个稀罕玩意,不仅贵而且还不好买。实验室里要是有一台,就好像学校里开的机房一样,恨不得拿白布好好罩起来,谁也别用。
在这一代中国人心中,时代的使命
仍然充满了崇
的
神。
“原
力显微镜有三
作方式,分别是非接
式、接
式和轻敲模式。”王中军的
神忽然明亮起来,笑容中多了一些自信:“如果我们将轻敲模式的
程设定为负数,其实它的探针完全可以在材料上
行极为
细的加工啊!”
“Ibm只是刻了三个字母,我们要刻几百条光栅线,探针不知
要用掉多少,这成本差别也太大了!”下面的研究员听的都快要疯了,这
实验设想如果被所长知
,光栅实验室非得
一辈
冷板凳吧!
科研不怕累、不怕浪费脑细胞,只怕找不到前
的方向。
这么宝贝的设备,就怕王中军狮
大开
,占用了其他实验室的份额。