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三人其实早就该到滨城了,接到消息得知滨城有两项生产单晶硅的关键新技术,可以大大提
单晶硅生长良品率和解决石英坩埚
的问题,大大增加坩埚的寿命。王守觉立刻从一个项目上

来,
节过后
上带着两人赶到了滨城。
这三人为首的是中科院半导
研究所的王守觉所长,其次是王守武副所长。还有林兰英研究员。
“小伙
,你的这
单晶炉对我国的意义很大,请问这
单晶炉是在国外引
的吗?”林兰英向林
生问
。
“等等!你们的硅单晶运用了氩气生长方式?”林兰英疑惑的问
。
研究人员让到了一边,三位科学家走到了近前。张绶庆向他们介绍
:“这是一台直拉型单晶生长设备,它能用于75mm(3英寸)硅单晶的生长。目前我们测试
这
单晶炉能很好的生长
3英寸五位错硅单晶。这台设备还加装了ccd扫描直径控制系统和完善的
理系统,可实现硅单晶生长的全程自动化控制。它的自动化率
,各
件运转
度好,我们现在运用它生长硅单晶,随着
作人员的熟练良品率越来越
了。先前由于刚接
不熟悉,良品率很低,目前经过摸索,测试输
准确数据,现在硅单晶的良品率上升到了60%!”
“哈哈,当然了,小林同志这里的效率是很
的,我们稍等一会,一会材料过来就能开炉。林研究员,呆会我让您看一看这里的石英坩埚,您绝对会惊讶的!”(未完待续。)
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“咱们和国外脱节太久了,我也需要观察一段时间才能确定国外的
平!这还是我近年来第一次看到国外的硅单晶炉!”林兰英说
,接着她又指着研究人员围着的一台单晶炉问
:“那是在
什么?”她走到这台单晶炉的旁边看到计算机显示
上的界面问
:“这
单晶炉实现了自动化控制?”
林
生说
:“技术引
工作我也正在
,相信不久之后就会有国外公司卖给我相关技术!”
林
生

向几位专家笑
:“当然了,求之不得!几位我这就送来一批材料,请你们稍等!”
林
生用奔驰和凯迪拉克载着三位科学家到了公司,这让王守觉、王守武和林兰英三人颇为惊讶,先前他们也没仔细打听这边是个什么的单位,结果到了之后才听张绶庆解释这是家外资公司。
他们一行人很快换上工作服,光这一
衣服就显
了这家公司的与众不同。工作服裁剪合理设计到位,没有一个纽扣,拉锁衣兜也是隐蔽设计不易被刮住。
这位专家62岁,有我国半导
材料之母的称号,林
生在她老人家面前也显得谨慎了许多。
“
迎王所长,王副所长、林研究员!”林
生在张绶庆的介绍下同来到的三位专家握手。
“
的我也不清楚,只知
林
生同志投资建设这么一家工厂,还有这一片都是他公司的实验楼,实验条件堪称豪华呀!林研究员你
去看看就知
了,你们还都姓林哩!”张绶庆说
。
“这就是保温盖?”林兰英
了单晶硅生产车间,稍稍惊讶于车间内
净的程度,她仔细观察了这
加了盖
的单晶炉说
:“这是封闭式硅单晶炉啊!这是国外的技术?”
“这位年轻人是华侨?”轿车直接开到了半导
实验楼前,林兰英得着机会向张绶庆问
。
王守觉对林兰英问
:“林研究员你是咱们国内开门式硅单晶炉的设计者,依你看这
封闭式的单晶炉怎么样?”
看着林
生快步走
了车间,林兰英奇怪的向张绶庆问
:“一会就能开炉吗?”
“小林同志,你看我们可不可以现场观察一次单晶硅的制备过程?”王守武向林
生问
。
“是的,我们这
提拉式单晶炉用了
的
纯氩气,而且还采用了
真空系统。这是自动化的硅单晶炉,如果采用了一整
的准确数据,生长良品率能提
到95%以上!”林
生走上前来对林兰英研究员说
。