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所以,郑振川也疑惑地望向苏远山。
如果郑振川和林本
的团队一同协助,一开始就直奔浸
式duv,那么或许最多三到五年……鸿芯就能推
世界上第一台浸
式duv光刻机。
“小山,你的意思是林博士他们解决了下一代光源了?”曲慧由于长年累月呆在鸿芯这边,早已经对光刻机技术和发展了如指掌,知
目前国内虽然由赵凯东那边实现了arf光源的突破,但arf在国外可是好几年前就已经突破了……而且人家早就意识到了193nm的arf激光将会是光刻机发展的一个重要节
——这也是国产光刻机追上世界的重要机会。
这……是不是走得太快了一
?
那么这就意味着,浸
式方案,也会如同前世一样,或许两年就能搞
来——把时间再算抛一
,那也就是三年!
而苏远山上次从hk回来时就路过了沪市,专门去看了林本
罗列
的一个个要解决的技术问题和难
。
照苏远山对工程和光学的浅薄认识来看,这些技术,都不是超越现代工程的技术。
“不,林,赵团队没有解决光源,但他们有解决镜
的方案。可以实现超越193nm的效果。”苏远山看着曲慧和沈浩然,解释
:“如果郑叔这边和那边直接
合启动该方案的光刻机的研发,那么……或许鸿芯就可能是第一家率先打破193nm的光刻机企业。”
但苏远山现在说到直接就
行光刻机的研究……
那该是多么伟大的一次超越啊……
面对众人疑惑的
神,苏远山轻轻地
了
气。
林本
是工程师,而且还是那

就班的、极为老牌和严谨的工程师。他既然能提
浸
式方案,那脑海中就必定有一个大
的解决方案。
现在苏远山说的不是直接搞光源,而是直接搞光刻机……
好家伙,意思就是那边的团队搞定了光源?
想到2003年,自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的duv,苏远山就
觉到有
燥
起来。
而国内,则压
没有那个
力去搞。
三年!
但人家意识得造,就意味着布局得早。尼康早就拉了一帮人在搞157nm的f2准分
光源不说,老
那边更是
,国家能源局亲自下场,组建了一支豪华的阵容直接瞄准了最低可到10nm波长的极紫外光源euv。
他话音落下,这边曲慧和沈浩然
上便是一惊!
直接就与林,赵团队合作,直接
过单纯的arf光刻机……或者说,直接协同研发跨越193nm的光刻机!”
之所以让郑振川直接就上
浸
式光刻机,自然还是因为他对林本
有着绝对的信心。
“到时候,别说asml之
,就算尼康佳能,他们也只能跪地求饶。”
当然,郑振川不向曲慧他们这样一惊一乍的,作为鸿芯的负责人,他自然知
林本
他们的方案,并且自己这边也给
了合作计划。
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