说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界级的技术成果。

“目前工件台的最大难还是在于速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”

“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱和阻尼的桎梏，实现超密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”

*

他这句话不是安人，而是真心这样认为。

双工件台虽然来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。

几秒后，苏远山微笑着摇：“曲慧，其实你们已经很厉害了。”

“郑叔，怎么说？”苏远山起给郑振川斟满茶，笑呵呵地问：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”

“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重。

要知，搞机械，特别是密机械，它不比搞程序设计。

她不甘心。 [page]

曲慧沉默数秒后慢慢，喃喃：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”

“这样，曲慧，我给你指一条方向。”苏远山不知双工件台技术接下来要往哪一边走，但苏远山却知双工件台的未来在何方。

因为曲慧刚校门就了远芯，亲自参加了eda的诞生，又亲见证了远芯在各个领域的崛起。

有了新方向的曲慧再无心谈，转而去苏远山的书架翻了一本理书来看。

*

程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。

郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”

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，也知不能泼冷。但如果工件台无法用在最先的光刻机上，那它的意义就少了许多。”

“嗯？你说什么方向。”

苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。

虽然他很少直接去首都科那边，但各支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。

“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着：“我们拿到了蔡司的镜和cym

见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来科研一线，份家都无与比，以至于心态还是小姑娘心态。

所以，双工件台名义上是首都科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都密仪研究所，远芯，志远，清华这四方联合行的一次技术攻关。

“可是，那个难度怕是有大吧？现在有没有超密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问。

“不知，但他呢！”曲慧了气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山：“小山，你真觉得那是个方向？”

双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开的过程中就把茶杯洗净，茶叶拿来丢杯里，顺便还拧着壶在一旁等着，只要开，上就能泡茶，装，一气呵成。比等开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。

至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。

但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同合，而且要保持速运动下的0.5微米的运动度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸一杆，在对面的机上刻0.5微米大小的字。

“还有一，我们目前的工业基础，只能允许我们到这个极限。”